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電子オートコリメータによる2次元、3次元直線度測定ソフトウエア OEG



                     OEG


非接触 光学自動計測装置
直線度、平面度、円形テーブルの位置決め不確定性
 

ELCOWIN - 電子オートコリメータによる2次元 直線度測定ソフトウエア

 



ソフトウェアELCOWINは、オートコリメーションの原理により、真直度、直角度、スライドの平行度、精密テーブルの平坦度の測定に役立ちます。ELCOMATは、Moeller-Wedel-Optical社のELCOMATシリーズの電子式オートコリメータと接続して使用できます。

 

オートコリメーション原理

オートコリメータは、視準されたビーム経路内のレチクルパターンの像を無限遠に投影します。光路内のミラーは、ビームをオートコリメータに戻すように反射させます。
反射ビームによりオートコリメーションイメージが生成されます。
ミラーが光軸に対して垂直であるとき、ビームはそれ自体に正確に反射されます。
一方、ミラーがある角度αで傾斜しているとき、ミラー上のビームの入射角はε=αです。反射したビームは対物レンズに角度δ= 2εの角度で斜め入射することになります。光軸に対するビームの角度に依存して、オートコリメーション画像は中心からずれていきます。
オートコリメーションイメージの光軸中心からのシフトは、x軸とy軸の両方においてミラーの傾斜度を示しています。


傾斜角に対して正しく較正されたオートコリメータにおいては、その読み取り角度が光軸に対する反射ビームの角度の半分に一致するので、直接的にミラーの傾斜角を読み取れます。

詳細は、Moeller-Wedel社のオートコリメーションガイドを参照してください。ダウンロード PDF

 

真直度測定

真直度測定は、基準ミラーの傾斜角度を、ミラー位置を変えて測定することです。
基準ミラーはがスライド上に固定されます。オートコリメータは、基準位置においてxとyの両方を調整しておきます。
測定時、基準ミラーを備えたスライドが所定のステップで移動していきます。
移動に伴って生じるミラーの傾きをオートコリメーションイメージの原点からの変位として記録されます。
ELCOWINは変位データからスライドの形を計算します。





 

平坦度測定

表面の平坦性を測定するには、いくつかの真直度測定を行います。真直度の測定は対象とする面内に幾何学的パターン、例えばいわゆる「ユニオンジャック」パターンを描くように行われます。オートコリメータは測定ラインの一端に置かれ、オートコリメータからの光ビームが測定方向に向かうように調整されます。
基準ミラーを用いて真直度測定を行っていきます。ルーラーはベースミラーのガイドとして使用できます。この手順を順次、他の測定ラインについても繰り返します。
交差点(図b)におけるデータをリンクすることによって、各直線の高さプロファイルを2次元のパターン(ここではユニオンジャック)に組み上げていきます。
この評価は、特殊ソフトウェアELCOWINを使用しすればコンピュータ上で極めて簡単に実行できます。
ELCOMAT3000またはELCOMAT varioを使用すると、測定時間をさらに短縮して精度を向上させることができます。手間のかかる手動データ入力を減らせます。




ELCOLEVEL PDF


 

ELCOLEVEL - 3次元 直線度測定ソフトウエア


ELCOLEVELは、電子オートコリメータと様々なメーカー製傾斜レベルとのインターフェースを備えたソフトウェアです。同一の測定手順を用いてスライドの3次元真直度(ツイスト、ロールおよびヨー角)の測定を可能にします。




Windows用ソフトウェアELCOLEVELは、真直度、直角度、スライドの平行度、精密テーブルの平坦度を測定する機能を提供しています。
ELCOLEVELは、電子オートコリメータと様々なメーカー製傾斜レベルとのインターフェースを備えています。
最大3つの測定軸の測定値を同時に捕捉して評価できます。つまりすべての測定軸をオートコリメータや傾斜レベルなどの入力デバイスに割り当て、自由に組み合わせることができます。
データ取り込みはソフトウェアによって自動制御されており、手動データ入力もサポートされています。
3つの測定軸(例えば、2つのオートコリメーション軸と1つの傾斜レベル)で同時に測定することにより、1回の測定プロセスで3軸のスライドの真直度を同時に測定することが可能です。

 

オートコリメーション原理

オートコリメータは、視準されたビーム経路内のレチクルパターンの像を無限遠に投影します。光路内のミラーは、ビームをオートコリメータに戻すように反射させます。
反射ビームによりオートコリメーションイメージが生成されます。
ミラーが光軸に対して垂直であるとき、ビームはそれ自体に正確に反射されます。
一方、ミラーがある角度αで傾斜しているとき、ミラー上のビームの入射角はε=αです。反射したビームは対物レンズに角度δ= 2εの角度で斜め入射することになります。光軸に対するビームの角度に依存して、オートコリメーション画像は中心からずれていきます。
オートコリメーションイメージの光軸中心からのシフトは、x軸とy軸の両方においてミラーの傾斜度を示しています。
 
傾斜角に対して正しく較正されたオートコリメータにおいては、その読み取り角度が光軸に対する反射ビームの角度の半分に一致するので、直接的にミラーの傾斜角を読み取れます。





 

真直度測定

真直度測定は、基準ミラーの傾斜角度を、ミラー位置を変えて測定することです。
基準ミラーはがスライド上に固定されます。オートコリメータは、基準位置においてxとyの両方を調整しておきます。
測定時、基準ミラーを備えたスライドが所定のステップで移動していきます。
移動に伴って生じるミラーの傾きをオートコリメーションイメージの原点からの変位として記録されます。
ELCOWINは変位データからスライドの形を計算します。


 

平坦度測定

表面の平坦性を測定するには、いくつかの真直度測定を行います。真直度の測定は対象とする面内に幾何学的パターン、例えばいわゆる「ユニオンジャック」パターンを描くように行われます。オートコリメータは測定ラインの一端に置かれ、オートコリメータからの光ビームが測定方向に向かうように調整されます。
基準ミラーを用いて真直度測定を行っていきます。ルーラーはベースミラーのガイドとして使用できます。この手順を順次、他の測定ラインについても繰り返します。
交差点(図b)におけるデータをリンクすることによって、各直線の高さプロファイルを2次元のパターン(ここではユニオンジャック)に組み上げていきます。
この測定評価は特別なソフトウェアELCOLEVELを使用すれば、コンピュータ上で簡単に実行できます。

 



 

互換性

傾斜角測定装置用のインターフェースは常に開発、更新されています。OEGに電話かメールでお問い合わせくだされば、ELCOLEVELに対応している角度測定装置をお知らせ致します。お使いのデバイスとの互換性がまだない場合でも、私どもはお客様向けのインターフェースの開発を喜んでさせていただきます。




ELCOLEVEL ダウンロード PDF


 

RTM - インデックス テーブルの位置決め不確実性の測定


RTMは電子オートコリメータとポリゴンミラーを角度参照として使用して、インデックステーブルの位置決めの不確実性を測定するためのソフトウェアです

RTMは、VDI / DGQ 3441、VDI 2617、ISO 230-2のガイドラインに従って、ラウンド(インデックスつき)テーブルの位置決めの不確実性と位置決め精度を測定するためのソフトウェアです。
このソフトウェアは、電子式オートコリメータとポリゴンミラーを接続して、角度基準として用いることにより動作します。
ソフトウェアRTMは、電子オートコリメータおよび角度基準マスタ(ポリゴンミラーなど)との連携により、VDI / DGQ 3441、VDI 2617、ISO 230-2によるラウンドテーブルの位置決め誤差の測定に使用されます。
 
RTMは機械製造業界のニーズを満たすために開発されたもので、世界の多くの施設で使用されている実績のある標準ソフトウェアです。
ELCOMATシリーズの電子オートコリメータを接続すれば、サブarcsecレベルの測定精度が達成できます。




 

RTM - 機能

ソフトウェアRTMは、ラウンドテーブルの回転位置決め精度の評価に関するVDI / DGQ-およびISO 230-2ガイドラインの推奨に従って開発されており、下記の機能を持っております。
 
・    固定角度差(> 360°)または完全に自由選択可能な完全円またはピッチ円としての試料上の測定(公称)位置の定義
・    2つのオートコリメータ(X、Y)軸によるピッチ/ロール誤差の同時取得(オプション)
・    使用される角度基準(ポリゴンミラー)の既知の位置依存誤差(検定値)の記憶と適用
・    線形、振り子、および巡回ステップの位置決め手順のサポート、オプションの単方向または双方向
・    オートコリメータの測定値の手動、リモート、および外部トリガーによる取り込み
・    必要に応じて測定データの手動入力
・    用いられる電子オートコリメータへのカスタマイズされたソリューションやインターフェイスの提供
・    測定テンプレートへのすべての測定パラメータの保存
・    VDI / DGQ 3441、VDI 2617、ISO 230-2のガイドラインに従った測定結果の評価と表示
・    系統的偏差、バックラッシュ、再現性、位置誤差、精度といった、ガイドラインに従うすべての項目の計算と表示
・    自由に選択できるプロトコルテキストとロゴが記載された、使用された評価ガイドラインに基づいたプロトコルとグラフィックスによる評価(レポート)
・    測定レポートの保存と印刷出力
・    誤って設定やパラメータを変更しないようにパスワードで保護されたソフトウェアサービスモード



 

互換性

現在、RTMは自動データ収集用のELCOMATシリーズのすべての電子式オートコリメータと互換性があります。
手動入力オプションを使用すると、他のオートコリメータ(光学式・電子式)も使用することができます。
お客様のご要望により、他の電子オートコリメータにインターフェイスを提供することができます。



RTM ラウンド テーブル測定 PDF

オートコリメーターの応用例 PDF







 

 

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