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SURFTENS WH 300


 

                  OEG


非接触 光学自動計測装置

半導体産業用

 

SURFTENS WH 半導体産業用 接触角 表面張力測定


SURFTENS WH 300
SURFTENS WH 300は200および300mmウェハ処理におけるプロフェッショナル用の接触角測定装置です。WH 300には、3軸ウェハローダ、ウェハスキャナ、200mmまたは300mmウェハ用ロードポート、ファンフィルタユニット、ノッチングシステムが装備されています。すべてのクリーンルームクラスに適合しており、最大25枚のウェハに対する接触角の自動マッピングが特徴です。


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SURFTENS WH 300は、ウエハハンドリングロボットと200mm / 300mmウェハのロードポートを備え、300mmウェハ技術の要求に完全に対応できる全自動接触角測定装置です。




ソフトウェア概要
・    3段階のユーザーレベル
・    ネットワークインターフェイスを介したSPCへの接続
・    オペレーティングシステムWindows XP / 7
・    ロードポート自動認識
・    スロット占有率の自動認識
・    特定のロードポートに割り当てられた自動測定レシピ(異なるウェハサイズ間のレシピ混同が回避されます)
・    保証されたスロット完全性
・    測定前のノッチング
・    測定データはローカルディスクに保存 - ネットワークサーバー上のバックアップストレージはお客様で構築
・    LAN対応
・    オフィスPCにおける結果評価用クライアントソフトウェア同梱
・    手動操作モード(ジョイスティック経由)
 
測定概要
・    自動、電動式投与および滴下システム
・    溶媒(脱イオン水)用10ml入りシリンジ
・    100mlタンクを装備し、シリンジへ自動補充
・    プログラム可能な液滴サイズ
・    プログラム可能なウェハ上の滴下位置と自動滴下
・    第2の溶媒による測定が可能
 
 
測定
・    ツール/ソフトウェアは測定マッピングの自由設定に対応
・     12インチの全ウェハ表面(エッジ領域を除く)にわたり滴下が可能
・    完全自動測定(FOUP→液滴配置→測定→液滴除去→FOUP):   FOUP=Front-Opening Unified Pod
 
ハードウェア概要
・    12インチウェハ/ 8ウェハのいずれにも対応
・    システムがスロットの完全性を保証
・    手動フォーカスシステム(焦点調整の手順書を用意しております)
・    メンテナンス方法、スペアパーツ、完全なユーザーガイドをご提供
・    シリンジの交換手順をご提供
・    測定特性によって定義されるウェハチャック
・    空気供給、真空装置、排気装置はお客様がご用意ください
・    開発システムのセットアップ用に300mmウェーハとFOUPをご用意ください
・    測定後の液体気化のためのホットプレート(オプション)
・    キーボードとマウスが含まれています


装置構成
 
1)ウェハハンドリングシステム
 
・    3軸ウェハハンドリングロボット
・    300 mm ウェハ用FOUPオープニングシステム
・    200 mmウェハ用ロードポート(OCL)
・    レーザースキャナー
・    真空エンドエフェクタ
・    ノッチングシステム
 
2)SURFTENS接触角測定モジュール
 
・    3軸ステッピングモータ
・    ステッピングモータ駆動ウェハテーブル
・    自動滴下システム
・    自動液滴位置決め装置(学習可能)
・    照明装置
・    光学系つきCCDカメラ
・    フレームグラバー
・    ファンフィルタユニット(ご要望により)
・    ソフトウェアパッケージ
 
3)ホットプレート
 
・    液体除去専用(ご要望により)
 
4)PC
 
・    PC
・    ディスプレイ
・    キーボード
・    マウス
 
接触角測定の技術パラメータ
接触角測定装置SURFTENS 300 WHは、クリーンルーム条件下での固形物(例えば、フラットパネルディスプレイ用のウェハまたはガラス基板)の濡れ挙動の完全自動測定、ならびにシリーズ試験および系統的分析のためのものです。SURFTENSは研究、品質、生産検査における接触角測定に伴う主観的要因や時間の短縮が可能です。
 
SURFTENS 300 WHで解析できる項目
・    Sessile Drop法による静的および動的接触角
・    固体表面上での濡れ挙動
・    固体およびその成分の表面自由エネルギー
 
SURFTENS 300WHを構成する基本技術と基本装置
・    垂直と水平の位置決めが可能なシングルニードルサポート
・    全自動正確なサンプル位置決めを可能にする測定ステージ
・    テレセントリック測定レンズ
・    高解像度CCDカメラによるビデオ計測システム
・    PC用の高性能ビデオデジタイザボード(フレームグラバ)
・    照度可変で均質なバックライティング照明
・    プログラミングを可能とするハードウェア、およびグラフィックディスプレイ
・    PCによる電源供給
・    Windows NT / 98 /XP®用に開発された32ビットソフトウェアSURFTENS
・    X、Y方向のサンプル位置およびZ方向のニードル位置制御
・    Sessile滴法による静的および動的接触角測定
・    液滴からの表面および界面張力の計算
・    Wuの理論に基づいた固体およびその成分の表面自由エネルギーの計算
・    統計および測定誤差分析
・    3軸ウェハハンドリングロボット
・    300mmウェハ用ロードポート
・    スロットにおけるウェハ占有スキャナ
・    ハウジング
 
技術仕様
・    サンプル                   200mm / 300mm Si-Wafer
・    位置精度                   ±0.05mm(サンプルレベル)
・    接触角の測定範囲                       1°〜180°
・    測定方法                   Sessile Drop法
・    クリーンルームクラス             100(100以下はお問い合わせ)









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