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MR 200 マイクロスクライバー OEG



                  OEG


非接触 光学自動計測装置
半導体産業用 精密マイクロ スクライバー
 

MR200 マイクロ スクライバー  精密マイクロ ダイヤモンド スクライバー




製品VIDEO
 

MR200は精密ダイヤモンドスクライバで、デバイス組込済みのシリコンウェハを手動で正確に切断できます。
 
MR200はデバイス化されたシ​​リコンウェハを精密に切り離す高精度のスクライビングを可能にします。MR200は例えば研究所など、少量のチップの切り離しにも適しています。
 
基本セットアップだけでスクライビングパラメータの調整のための多数のオプションが提供されます。高品質のズーム光学系により、倍率を8倍から40倍まで無段階に調整できます。光学系と機械系は追加のオプションモジュールで拡張でき、効率と操作の快適性を向上させることができます。
オプションモジュールには、カメラシステム、画像処理システム、テーブル移動量を測定できるデジタルゲージなどがございます。
 
高品質のズーム顕微鏡を搭載し、表面のおおまかな状況も詳細も無段階ズームで観察可能です。試料の位置は、x / yステージの微調整で精密に位置決めできます。
スクライブダイヤモンドの設定値を調整することができます。接眼レンズのヘアクロスが設定点の目印となります。
ビデオシステムはオプションで利用可能です。ウェハはPCのモニタ上で観察できるようになります。





MR 200 オプション

テーブル位置測定用 デジタルゲージ 測定範囲100mm



テーブル位置測定用 デジタルゲージ スタンダード 測定範囲200mm

スクライビングのための調整可能な作業角度


             

  倍率8倍の顕微鏡画像            倍率40倍の顕微鏡画像







カタログ ダウンロード PDF
 

MR200 精密ダイヤモンド スクライバー カタログ翻訳


  

 

構造作り込み済みのシリコン ウエハの精密カットに

MR-200は半導体テクノロジーにおけるREM準備のための理想的なツールです。

MR200は構造化済みシリコンウエハを精密カットする上で、必要な高精度スクライブを実現します。MR200は特にREM準備に欠かせないツールです。MR200はまた、少数のチップを切り離すことが多い研究所などにも最適です。

 

技術パラメータ

・押し出し材によって構成された基本フレーム
・装置サイズ 約400 x 800 x 600mm (W x D x H)mm
・重量  約 20kg
・電磁的スクライブ (高パワー空圧スクライブは、お打ち合わせ)
・フットスイッチによるスクライブチップ制御(下降、上昇)
・スクライブ出力は可変(通常10 - 120g、それ以外はお問い合わせ)
・スクライブ溝幅 約5 - 10μm (スクライブ出力や対称材料に依存)
・下降速度調整可能
・スクライブチップ高さ調整可能
・スクライブチップ動作角度調整可能
・スクライブ粉塵の吸い出し除去
・スムーズに倍率可変 8 - 40倍ズーム顕微鏡
・エッジ、構造、リファレンスマークなどにぴったり合わせ込めるヘアクロス付き顕微鏡
・10μm以上の分解能を持った観察光学系(倍率 x 10において)
・XYステージに搭載された直径200mmのテフロンコート付き真空ウエハチャック(直径100mmも可)
・マイクロメータによるウエハチャックの角度微調(分解能0.006")
・真空オフすることなく可能なウエハチャックの正確な90°回転
・調整可能なチャックの90°回転用インデックス
・スクライブ移動と粗動位置決めに使える、ストローク各200mmの手動XYステージ
・スクライブ方向に直交な軸に位置を微調可能な25mmストロークマイクロメーター
・スクライブ方向に平行な軸に微調可能な10mmストロークを持ったマイクロメーター
・調光可能なリング状LED照明及び電源
・最小試料サイズ 約10mm x 10mm
・適用ウエハ厚 あらゆるスタンダード厚み
・ウエハ材質 シリコン、GaAs (他の材料は要問い合わせ)
・ビデオシステム用アタッチメント 取付可能

 

光学系

高品質のズーム光学系により、倍率を8倍から40倍まで無段階に調整できます。顕微鏡はさまざまなアタッチメントが用意されており、必要に応じて機能が追加できます。
 

オプション アタッチメント

1. デジタルゲージ 200mm   このゲージを使えば、スクライブ方向に対して垂直方向へのウエハテーブルの高精度位置決めが可能になります。正しくグリッド型にスクライブしたい用途に有用です。

2. カメラアダプター アップグレードキット対応する顕微鏡へのCCDカメラ適用に。カメラと画像処理用PC及びディスプレイは付属していません。別途必要になります。お客様が用意された装置でも、OEGが提供するビデオシステムでも適用可能です。

3. カラービデオ システム 1.3Mピクセル カラーカメラ、PC、画像処理ソフトで構成されるオプションです。このソフトウエアにてカメラ画像の表示・取込が可能です。接眼倍率8X、16X、40Xに相当する任意倍率で表示されます。  


4. 線幅測定  画像処理ソフトウエア モジュールを追加することにより、サブピクセルの分解能を持つ高精度な線幅測定を可能にします。
 

簡単操作・精密スクライブ

チャック上に固定した基板を位置決めしたら、ウエハ面にフォーカスを合わせます。X方向、Y方向へのステージを手動調整して、基板のリファレンスマークまたは構造を基準にしてスクライブラインを合わせます。高品質なズーム搭載顕微鏡により、構造の全体像と細部を素早く切り換えて検査出来ます。X,Y方向に設置された微調ノブを使えば、極めて正確な位置決めが可能です。次にスクライブチップの透過点を決定します。接眼またはビデオディスプレイ上に現れるクロスを参照してスクライブチップの投下点を精密に調整出来ます。スクライブチップの動作(上昇・下降)はフットスイッチでコントロールするので、両手はスクライブポイントの移動に使えます。スクライブラインが確定したら、フットスイッチでスクラッチチップを下げます。
 






 

501.2

      精密マイクロ ダイヤモンド スクライバー MR200
             200mm チャック付き
構造化済みのシリコンウエハをカットするための、手動で精密スクライブするダイヤモンド スクライバー


・ステーブル基本フレーム
・フットスイッチによるスクライビング ダイヤモンドの電磁セット
・連続的な倍率調整の高品質ズーム顕微鏡
・リング ライトのアダプター
・試料のエッジ、構造、リファレンス マークなどの正確な位置決めのためのヘアークロス付きアイピース
・粗動/微動ポジショニング 手動XYテーブル (200 x 200)mm ストローク
・200mm 真空ウエハチャック (100mm も可能) テフロン コート
・スクライビング ダイヤモンド ティップ (ダイヤモンド先端)
・多くの調整要素
・コントローラー付きLEDリングライトと電源

テクニカル パラメーター
・リファレンス マークからスクライブ ラインまでの正確なアライメントのためにマイクロメーターネジでXYテーブルの位置微調
  スクライブ方向   x 25mm 
                    y 10mm
・マイクロメーターによるウエハーチャックの角度微調整 10μm分解能=0.006°
・手動XYテーブル  ストローク (200 x 200)mm
・正確な90°スクライビング  ウエハチャックの真空スイッチを切らないで90°回転
・90°回転調整
・スクライブ ダイヤモンドの角度調整
・フットスイッチによるスクライビング ダイヤモンドのセット
・スクライビング ダイヤモンドの低速調整
・スクライビング パワー調整 10g - 120g
・スクライビング ダイヤモンドの高さ調整 (違った試料の厚さのため)
・顕微鏡の特徴
  顕微鏡倍率 8x - 40x
  倍率40xの時 光学分解能 >10μm
・ウエハ厚:Si ウエハ 全ての標準厚さ
・材質:シリコン、全てのモノクリスタル 
・最小試料サイズ 10mm x 10mm
・サイズ  約400 x 800 x 600mm(H)
・重量   20kg

追加事項
真空ポンプ お客様で用意してください。(購入の場合は別途御見積りします。)
出荷重量 75kg
サイズ  120 cm x 72cm x 73cm

 

502.2

         カメラを適応させるためのアタッチメント
構成

フォト/TVチューブ 画像30°
アングル チューブの代わりにシングル アイピース チューブ
TVアダプター  0.4X Cマウント

カメラ、モニター、PCは含まれていません。
OEGで用意出来ます。

OEGのイメージ プロセッシング装置を使う場合は、OEGが用意するカメラが必要です。

 

504.2

             線幅計測のソフトウエア
精度 10μm以下 倍率40X
515.2を接続のみ、ソフトウエア COMEF basic 

 

505.2

           イメージ プロセッシング カラーTV 装置
構成
USB 2.0 カラーCCD カメラ 1.3MPixel
USBケーブル
イメージ プロセッシング システム COMEF
PC (コンピューター + モニター) Windows 動作システム

502,2  必要なもの
TV拡張機能 顕微鏡のリアルタイム表示
PCスクリーンの画像とアイピースを同時に使用
画像処理システムは、PC画面でのライブビデオ表示
スクリーンにヘアークロスとグリッド
ビデオ画像の保存

 

507.2

                                                光源 (スペアパーツ)
LED リングライト 66mm
輝度調整
電源

 

 

508.2

               真空ポンプ
ポンプ、真空チューブ、電源ケーブル

モーターパワー 180W
最終全圧力 DIN 28432(mbar)  <75
容量 50/60Hz (m3 / h )  3.8 / 4.2
サイズ 230 x 265 x 169mm
重量 11.2kg
チューブ内径 8mm

 

510.2

             ダイヤモンド ティップ 円錐形
スクライビング ダイヤモンド
コニカル形 90° 
シリコン スクライブ用

 

 

513.2

             502.2 接続 コンピューター
502.2専用最新 Windows オペレーティングシステム 

 

515.2

                                          画像処理ソフトウエア COMEF basic
PC画面上でのライブビデオ表示
 ヘアークロスとグリッド
 JPGおよびBMPでのビデオ画像保存
測定機能
 距離、角度、半径、面積、長さ
コンピューターが必要です。 


 

 

516.2

                 USB カメラ
カラーカメラ
CMOS チップ
1.3 メガピクセル分解能 (1280 x 1024)
USB  ケーブル

 

517.2

ウエハー破損のための特別なプライヤー

 

518.2

              ウエハ チャック 100mm
テフロン コート


 

 















 

 

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